Главная Сайт МБУ "МИБС" Инструкция по поиску в WEB-ИРБИС Видеоуроки по поиску в WEB-ИРБИС
Авторизация
Фамилия
№ читательского билета
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Периодика МИБС
Периодика Новокузнецка
Статьи
Краеведческие статьи
Списанные книги
Область поиска
Поисковый запрос: (<.>I=/К 63-766343<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Комаров, С. М. (канд. физ.-мат. наук).
    Оловянный источник из ИСАНа / С. М. Комаров // Химия и жизнь - XXI век. - 2007. - № 1. - С. 6-7. - (Технологии) )
. - ISSN 1727-5903
УДК
^A535
ББК 22.34
Рубрики: Физика
   Оптика
Кл.слова (ненормированные):
литографические машины -- микросхемы -- нанолитография -- нанотехнология -- олово -- рентгеновское излучение -- спектроскопия
Аннотация: Две струи расплавленного олова, между которыми время от времени загорается разряд, испускающий мягкие рентгеновские лучи, - возможно, таким будет источник света для нанолитографии, то есть производства микросхем. Этот источник разработан учеными из троицкого Института спектроскопии РАН.


Доп.точки доступа:
Российская Академия Наук
Прямая ссылка
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)