Аналитическая роспись статей. . Муниципальная Информационно-Библиотечная Система г. Новокузнецка

Статьи

Область поиска

Поисковый запрос: (<.>K=емкостные акселерометры<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Новый материал для "умных" микросенсоров // Природа. - 2006. - № 3. - С. 82. - (Новости науки) (Электроника) )
. - ISSN 0032-874X

УДК

^A621.38

ББК 32.85
Рубрики: Радиоэлектроника
Электроника
Кл.слова (ненормированные):
гироскопы -- емкостные акселерометры -- изготовление микросенсоров -- кинематические сенсоры -- микродатчики -- поликристаллический SiGe
Аннотация: О новом материале поликристаллическом SiGe, по всем параметрам подходящем для изготовления кинематических сенсоров, таких как гироскопы и емкостные акселерометры.

Прямая ссылка
Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)