Главная Сайт МБУ "МИБС" Инструкция по поиску в WEB-ИРБИС Видеоуроки по поиску в WEB-ИРБИС
Авторизация
Фамилия
№ читательского билета
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Периодика МИБС
Периодика Новокузнецка
Статьи
Краеведческие статьи
Списанные книги
Область поиска
Поисковый запрос: (<.>K=голографические литографы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Раховский, Вадим.
    Преодолеть смертельные дефекты / Вадим Раховский ; [беседовал] Александр Механик // Эксперт. - 2016. - № 36. - С. 36-41 : 2 схемы. - (Наука и технологии. Микроэлектроника) )
. - ISSN 1812-1896
УДК
^a621.38
ББК 32.85
Рубрики: Радиоэлектроника
   Электроника в целом
Кл.слова (ненормированные):
высокие технологии -- голографическая фотолитография -- голографические литографы -- голографические маски -- инновационные технологии -- инновационные фотолитографы -- интервью -- оборудование для микроэлектроники -- проекционная фотолитография -- производство микропроцессоров -- расчет голографической маски -- синтез голографических масок -- субволновая голографическая литография -- топологии в интегральных схемах -- физики -- финансирование научных разработок -- фотолитографы -- электронное машиностроение
Аннотация: Интервью с доктором физико-математических наук, руководителем группы российских инженеров, создающих принципиально новый фотолитограф - важнейшую машину для производства микроэлектроники, о прошедших этапах его разработки и инновационности, о причинах продолжения работы над проектом в Швейцарии, о планируемом времени появления опытно-промышленного образца голографического литографа.


Доп.точки доступа:
Механик, Александр \.\; Раховский, В. (профессор; доктор физико-математических наук); Empa; Nanotech SWHL GmbH
Прямая ссылка
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)