Главная Сайт МБУ "МИБС" Инструкция по поиску в WEB-ИРБИС Видеоуроки по поиску в WEB-ИРБИС
Авторизация
Фамилия
№ читательского билета
 

Базы данных


Статьи- результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Периодика МИБС
Периодика Новокузнецка
Статьи
Краеведческие статьи
Списанные книги
Область поиска
Поисковый запрос: (<.>K=EUV-источники излучения<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Механик, Александр.
    Сложить нанопасьянс / Александр Механик // Эксперт. - 2012. - № 4. - С. 51-57 : 6 схем. - (Наука и технологии. Наноэлектроника) )
. - ISSN 1812-1896
УДК
^A338.45:621
ББК 65.305.4
Рубрики: Экономика
   Экономика машиностроительной промышленности--Россия
Кл.слова (ненормированные):
EUV-источники излучения -- EUV-нанолитографы -- волны излучения -- источники излучения -- лазерная плазма -- литографы-мультипликаторы -- международные проекты -- микросхемы -- нанометровая точность -- наноэлектроника -- наукоемкое машиностроение -- оптико-электронное машиностроение -- оптические системы -- пары олова -- проектные нормы микросхем -- промышленная политика -- разрядная плазма -- рентгенооптика -- системы позиционирования -- схема фотолитографа -- технология фотолитографии -- фотолитографическое оборудование -- фотолитография в микроэлектронике -- фотолитографы
Аннотация: О фотолитографии в микроэлектронике и особенностях производства фотолитографических установок. О ключевых позициях российских ученых в разработке фотолитографов нового поколения и перспективах развития наукоемкого машиностроения.


Доп.точки доступа:
Салащенко, Николай (российский ученый); Кошелев, Константин (российский ученый); ASMLithography, компания; Российская академия наукИнститут физики микроструктур РАН; Российская академия наук; Институт спектроскопии РАН; "Амфора", лаборатория; "Лаборатория "Амфора"
Прямая ссылка
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)